듀얼

기본 정보

제품 설명

듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 당사가 독자적으로 개발한 비용 효율적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비입니다. 표준화되고 모듈식이며 사용자 정의가 가능합니다. 선택할 수 있는 1인치 또는 2인치 마그네트론 타겟이 있습니다. 고객은 코팅할 기판의 크기에 따라 대상을 선택할 수 있습니다. 이 장치에는 2개의 500W DC 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. DC 전원 공급 장치는 금속 필름 준비에 사용할 수 있습니다. 두 개의 타겟은 다층 또는 다중 코팅의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
코팅 기계에는 2채널 고정밀 질량 유량계가 장착되어 있습니다. 다른 요구 사항이 있는 경우 최대 4채널 질량 유량계의 가스 경로를 사용자 정의하여 복잡한 가스 환경 구성 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 장비에는 고급 터보 분자 펌프 세트가 장착되어 있으며 최종 진공은 최대 1.0E-5Pa이며 다른 유형의 분자 펌프도 구매할 수 있습니다. 분자 펌프의 가스 경로는 여러 개의 솔레노이드 밸브로 제어되므로 펌프를 끄지 않고도 챔버를 열어 샘플을 꺼낼 수 있어 작업 효율성이 크게 향상됩니다. 본 제품에는 통합 산업용 컴퓨터를 장착하여 시스템을 제어할 수 있습니다. 컴퓨터 프로그램에서는 진공 펌프 제어 및 스퍼터링 전력 제어와 같은 대부분의 기능을 실현할 수 있어 실험 효율성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.